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renishaw激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床的兩大應(yīng)用,你了解多少?

點(diǎn)擊次數(shù):2073 更新時(shí)間:2021-01-04
  renishaw激光干涉儀可用于數(shù)控機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測(cè)量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達(dá)到納米級(jí),從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。
  
  與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時(shí)處理數(shù)據(jù),為數(shù)控機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀與不同光學(xué)附件結(jié)合,可以測(cè)量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機(jī)床誤差來源:而且測(cè)量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù),更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。
  
  位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。因此,用激光干涉儀檢測(cè)機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。
  
  renishaw激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床的應(yīng)用
  
  一、直線度測(cè)量
  
  1、沿水平軸直線度測(cè)量,激光器發(fā)射出的光束穿過中間的直線度干涉鏡,分為兩束同頻的光源,通過直線度反射鏡反射匯聚到干涉鏡,再返回激光器。此種測(cè)量方法,可以檢測(cè)出干涉的光波在直線度干涉鏡移動(dòng)的方向上產(chǎn)生多少偏差,可以用來調(diào)試設(shè)備。
  
  2、沿垂直軸直線度測(cè)量,將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)換成垂直光束。
  
  二、線性測(cè)量
  
  renishaw激光干涉儀是高精度的線性位移測(cè)量儀器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可以定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等多項(xiàng)檢測(cè)機(jī)床軸的精度指標(biāo),需要用到一個(gè)各線性分光鏡和兩個(gè)線性反射鏡。
  
  新機(jī)床大多使用激光干涉儀進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測(cè),機(jī)床使用一段時(shí)間后,由于絲杠的磨損和其它原因,精度會(huì)逐漸喪失,也需要使用renishaw激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。
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